配置及技术参数
| 配置 | 项目类型 | 描述 |
| 1 | PLW100A | 可测试Wafer尺寸：2英寸~4英寸 Chuck XY向行程：100mm*100mm Chuck移动分辨率：旋钮调节 Chuck旋转范围： ±5°微调，360°粗调 台面接触分离: 10mm,10微米分辨率 Chuck漏电:<1pA 上下片方式：手动旋钮式 显微镜机构调节:Z向±35mm 进口静音真空泵 |
| 2 | Scope | 双目体式显微镜，LED环形灯照明，总倍率为:最大90X，物镜0.7X-4.5X连续，目镜20X |
| 3 | PT-301 | 直流针座，磁吸附，带磁性开关。 X-Y-Z 移动: 12mmx12mmx12mm 线性移动解析: 1.0 um探针夹持器，铜针管直径4.0mm 金属铜管长：150mm 接1.5米同轴线 BNC电缆 |
| 4 | P0518 | 直探针尖（针杆直径0.5mm，长18mm，针尖10-50μm，钨针） |
