上海旭量光学技术有限公司是一家成立于2020年的飞秒激光制造企业,公司成立当年即斩获飞秒激光多脉冲再生放大激光系统的专利(专利号:ZL 2020 1 15774301);总公司位于香港,核心团队源于香港中文大学,擅长飞秒激光直写光刻和TPP双光子聚合打印,基于飞秒激光时空聚焦投影专利技术 US 10,207,365,通过先进的时空聚焦多焦点投影技术实现了飞秒激光直写三维光刻在高分辨率和高通量的同时突破,其中飞秒激光光刻分辨率可达到突破光学衍射极限的30nm。技术团队于2025年进一步开创性的开发了线扫描投影多焦点打印技术,不仅实现了持续打印带宽可达2,393×ηupper limit: 6,341,而且实现了线扫描投影技术、此技术是基于飞秒激光多焦点投影光刻技术的迭代升级,不仅具备更高的光刻效率,同时具备更均匀的光场和超连续打印能力,采用此技术制造的构件具备更好的光刻一致性;相比传统的振镜扫描飞秒打印系统而言,我们的飞秒线扫描投影系统可以使用高能量的固体飞秒激光放大器作为光源,拥有更高的能量使用能力,而且线扫描具备更好的光场一致性;飞秒激光线扫描投影技术相比飞秒激光多焦点投影技术而言,允许使用高重频的激光器实现更高的光刻效率,不仅可用于TPL光刻打印,而且可用于半导体行业亟需的大面积改性和蚀刻加工,线扫描投影技术让我们的产品向工业制造迈出了坚实的一步。

科研服务
飞秒激光打印三维构件、支持打印任意悬垂结构和超长构件、超透镜、亚微米机器人构件原型制造;飞秒激光直写三维光子芯片、三维光波导写入及键合;飞秒激光超表面蚀刻,飞秒激光焊接和键合,飞秒激光直写光纤光栅,强反射和弱反射光栅等。
超快时间分辨Pump-Probe系统,自动化光电流光谱系统、微区角分辨光谱系统,荧光光谱,LIBS光谱测量等。
工业服务
飞秒加工:飞秒激光直写制造服务,投影扫描光刻系统,激光加工过程监测系统。
晶圆测量:专业级晶圆缺陷检测仪,共聚焦光谱成像表征系统,残余应力和内应力检测设备。
同时代理国际先进的高能量固体飞秒激光器,飞秒激光FBG生产系统,飞秒激光TGV生产系统,科研级深度制冷CCD、SCMOS、InGaAs、ICCD、EMCCD……等。

