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飞秒微细加工是一种生产高精度微机械部件的新技术，可用于微机械和微机器人等领域。一个例子是使用多光子聚合与杂化聚合物结合热解来创建具有高机械刚性的陶瓷结构，适用于微机械零件的制造。另一个例子是选择性激光蚀刻（SLE）技术，该技术可以制造具有复杂结构和低表面粗糙度的真正3D玻璃结构。该技术可以生产具有高选择性和纵横比的日内瓦齿轮或富勒烯分子样结构等结构。