高规格晶圆片现货

NAPHIA 蓝宝石晶圆,并解决了基板引起的问题。 除了传统的蓝宝石基板标准等级外,还提供高规格,如高平整度和高清洁度。

主要特点
  • 高强度、高硬度、高耐磨性 (硬度仅次于钻石) 
  • 高透光率 (在紫外线到红外线的范围中内透光) 
  • 高耐腐蚀性 (对酸・碱・电浆耐受性高) 
  • 高绝缘性 (绝缘体,不易导电) 
  • 高耐热性 (熔点2050℃) 热传导性 (玻璃的40倍)
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规格参数
  • 标准的尺寸(φ2”,3”,4”,6”,8”,12”)、其他特殊尺寸、角形等各种形状都可对应。
  •  可对应各种面方位: c-plane, r-plane, m-plane, a-plane 
  • 双面研磨、单面研磨 
  • 可客制化打孔加工 
  • 厚度公差:  标准规格: ±15~25μm
  •  敝司特殊规格:±0.3μm
  • TTV(厚度分布):标准规格 ≦10~20μm
  • 高洗净度:  低颗粒粒子、低金属污染
应用领域
  • 薄膜形成用基板 (LED、电源装置、高频率电波装置) 
  • 接合用基板 (硅/蓝宝石→通信设备等、 LT(钽酸锂/蓝宝石→SAW(表面声波)滤波器)  
  • 光学窗口 (激光、手表、Chamber等) 
  • 透明散热基板 
  • 晶圆载体(薄化工程用支持基板、治具用等

敝司特殊规格:≦2.5μm(双面研磨)、≦3.0μm(单面研磨)

➡ 使用案例: 晶圆载体、接合用基板

      期待效果:使用者的良率提高。

➡ 使用案例: 成膜用基板、接合用基板

  期待效果:使用者可再使用前省略清洗步骤、改善良率。

1)高清洁度
2)高平坦度
蓝宝石晶圆参数1.PNG
蓝宝石晶圆参数2.PNG
3)特殊基板
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