multi-photon polymerization (MPP) and 3D laser lithography

采用MPP可以制造各种光子器件: multi-photon polymerization (MPP) and 3D laser lithography.

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多光子聚合MPP技术能够使用各种聚合物生产任意形状的3D结构。图中所示的光子晶体的单线宽小于200nm,由于特征分辨率的尺寸可以与可见光的波长相媲美,因此可以制造交替的周期性结构,例如光子晶体,可用于调制光路。

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