用于混合光子集成的自由形式耦合元件的原位 3D 纳米打印

飞秒激光直写3D打印用于芯片和光纤端面的一系列光束整形元件,可实现边缘发射激光器和单模光纤之间高达 88% 的耦合效率;同时适应光束形状和传播方向的印刷自由曲面反射镜。

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