
产品系列:超快激光加工
产品型号:FEMTO DLW第一代
产品品牌:FEMTO DLW
产品详情
飞秒激光直写光波导、二维图案化、TPP 打印等。


- 支持复杂矢量图形 (DXF) 和标准 2D 导入、编辑、填充和数组处理。
- 支持三轴联动空间曲线加工;软件包括一个螺旋线规划子模块。
- 支持 STL 3D 图形导入和 JPG、TIF 2D 图形导入。
- 支持单轴 PSO。
飞秒激光器
标准系统组件
- 输出波长:1030 nm±10nm,2H 声光调制器 (AOM)
- * 最大单脉冲能量:≥ 100 μJat 50 kHz(基频输出);
- * 平均功率:≥5W;
- * 脉冲宽度:<250 fs;脉冲宽度调谐范围:250fs-10ps
- # 功率稳定性:<0.5%@24h
- # 光学质量 TEM00 M2<1.2 TEM00,M2< 1.3 (2H)
- 可调重复频率:高达 1 MHz;
- # 指向稳定性: <20 urad/“ C.
- 定制的 Biburst 突发模式、GHz 模式。
- 进口负压取样装置/无负压取样装置(带光纤支架)。
- 4F 传输光学元件和机械部件。
- 机器视觉(同轴/非同轴)。
- 软件功率控制(可选实时功率检测)。
- 偏振转换(手动/自动)。
- Vortex 矢量光场调制。
- 自动集成功率衰减和极化调制模块。
XYZ 定位系统
- XYZ 行程 100x 100x 20mm. ( Z 轴空气 )
- 测量数据的定位精度:右
- 重复性 XY s± 150nm, Z 轴 s±200nm
- 直线度/跳动s+/-2μm
- 最大速度 XY ≥ 300mm/s,Z≥ 50mm/s
- 最大负载 5KG。
- 带有辅助调平程序的手动螺距调整平台。
机器视觉系统和自动对焦

a) 同轴显微镜观察系统,可实时观察激光加工状态。可调节的照明强度。
b) 可切换的激光二向色镜,便于校准激光光斑。
c) 6M 彩色相机,3072×2048 像素,2.4μm 像素尺寸,曝光时间 0.11ms-12s,最大 41fps。
d) Z 轴自动聚焦。
e) 第二 Z 轴:行程 50mm,重复定位精度 ±1μm,负载能力 10kg。
物镜转盘 物镜组
特征:
- 五孔物镜旋转,中心可调(可选电动调节)
- 进口 Mitutoyo 物镜组:
- 10X,NA0.3,工作距离 ≥ 30mm(仅 UV,不包括在内)
- 20X,NA0.45,工作距离≥ 15mm
- 50X,NA0.65,工作距离 ≥ 9mm
- 在 50 倍物镜下,激光聚焦与显微镜成像焦平面重合。
- 在 50X 下,激光焦点 <1 μm。
软件

- 软件满足基本的加工参数调整要求:主界面允许直接调整移动距离和速度;高分辨率摄像头集成集成在同一界面中,以实时监控加工状态。
- 至少支持四种基本形状处理路径(线、圆、椭圆、矩形)和数组生成功能。
- 支持复杂矢量图形 (DXF) 和常规 2D 导入、编辑、填充和数组处理。
- 支持三轴联动空间曲线处理,带子模块进行螺旋线规划。
- 支持导入 STL 3D 图形,以及 JPG 和 F 2D 图形导入。
- 支持 PSO。
大理石龙门架
- 光路安装在光隔振平台上,确保运行过程中的稳定性并阻挡外部干扰。光学系统结构在大理石龙门架上,以防止漂移和振动。
- 全屏蔽保护罩,确保在加工过程中实现最佳激光屏蔽,符合安全标准。

