飞秒激光器

标准系统组件

• 输出波长：1030 nm±10nm，2H 声光调制器 （AOM）
• * 最大单脉冲能量：≥ 100 μJat 50 kHz（基频输出）;
• * 平均功率：≥5W;
• * 脉冲宽度：<250 fs;脉冲宽度调谐范围：250fs-10ps
• # 功率稳定性：<0.5%@24h
• # 光学质量 TEM00 M2<1.2 TEM00，M2< 1.3 （2H）
• 可调重复频率：高达 1 MHz;
• # 指向稳定性： <20 urad/“ C.
• 定制的 Biburst 突发模式、GHz 模式。

• 进口负压取样装置/无负压取样装置（带光纤支架）。
• 4F 传输光学元件和机械部件。
• 机器视觉（同轴/非同轴）。
• 软件功率控制（可选实时功率检测）。
• 偏振转换（手动/自动）。
• Vortex 矢量光场调制。
• 自动集成功率衰减和极化调制模块。

• XYZ 行程 100x 100x 20mm. （ Z 轴空气 ）
• 测量数据的定位精度：右
• 重复性 XY s± 150nm， Z 轴 s±200nm
• 直线度/跳动s+/-2μm

• 最大速度 XY ≥ 300mm/s，Z≥ 50mm/s
• 最大负载 5KG。
• 带有辅助调平程序的手动螺距调整平台。

机器视觉系统和自动对焦

a） 同轴显微镜观察系统，可实时观察激光加工状态。可调节的照明强度。

b） 可切换的激光二向色镜，便于校准激光光斑。

c） 6M 彩色相机，3072×2048 像素，2.4μm 像素尺寸，曝光时间 0.11ms-12s，最大 41fps。

d） Z 轴自动聚焦。

e） 第二 Z 轴：行程 50mm，重复定位精度 ±1μm，负载能力 10kg。

• 软件满足基本的加工参数调整要求：主界面允许直接调整移动距离和速度;高分辨率摄像头集成集成在同一界面中，以实时监控加工状态。
• 至少支持四种基本形状处理路径（线、圆、椭圆、矩形）和数组生成功能。
• 支持复杂矢量图形 （DXF） 和常规 2D 导入、编辑、填充和数组处理。
• 支持三轴联动空间曲线处理，带子模块进行螺旋线规划。
• 支持导入 STL 3D 图形，以及 JPG 和 F 2D 图形导入。
• 支持 PSO。