产品简介

日本Lasertec是成立于1960年的光学检测公司，与美国著名半导体设备厂商KLA技术相当，专业服务于工业和实验室。

近年来Lasertec在业界首创推出了混合白光、激光共聚焦显微镜系统Optelics Hybrid，基于便利的双光源、多光路光学系统，拥有卓越的成像质量及自动对焦等实用功能；直接对标奥林巴斯、蔡司的科研系列，正以极高的性价比被市场广泛接受。

产品功能：高度集成和优秀的光学系统

产品优势：卓越的分辨率和成像质量

不仅而且的实用性

高配置灵活度

好用的软件和AI算法

经过时间验证的完善功能

成熟可靠的工业OEM

基本规格

观察功能	白色光共聚焦、激光共聚焦、微分干涉观察、彩色图像观察
測定機能	高度、幅宽、表面粗糙度、形状特征、白光垂直干涉、相差干涉、反射分光膜厚
波長選択	激光：405nm　白光：436nm, 486nm, 514nm, 546nm,578nm, 633nm
测定精度（水平方向）	准确度：±（0.11+L/100）μm
	再现性（σ）:10nm
测定精度（高度方向）	准确度：±｛0.02ｘ（100/物镜倍率）+L/1000｝μm
	再现性（3σ）：10nm
帧率	15Hz～120Hz