UV无掩模数字打印系统
产品系列：紫外激光直写系统 产品型号：UV 100 产品品牌： 手套箱兼容紫外激光直写系统，非常适合工业化应用。 在线咨询 旭量光学 在线客服 您可以填写联系表单，稍后安排专人与您电话沟通，如未能及时回应可拨打销售热线：18116227931(微信) 紫外激光束经声光调制器和高精度振镜系统协同调制，通过高数值孔径(NA)物镜精准聚焦至光刻胶表面，确保曝光质量。 设备体积小巧，可灵活置入手套箱内，在恒定氛围环境中稳定运行，满足钙钛矿等氛围敏感材料的研发与测试需求。 型号 UV…
应用场景
面向无掩模 UV/LED 光刻、PCB 图形直写、微纳图形和光刻工艺验证需求。
技术亮点
- 紫外激光束经声光调制器和高精度振镜系统协同调制，通过高数值孔径(NA)物镜精准聚焦至光刻胶表面，确保曝光质量。
- 设备体积小巧，可灵活置入手套箱内，在恒定氛围环境中稳定运行，满足钙钛矿等氛围敏感材料的研发与测试需求。
| 型号 | UV-100 |
| 最小特征尺寸XY | 250 nm |
| 打印速率 | 18 mm²/h |
| 单次曝光面积 | ≥ 0.25 mm x 0.25 mm |
| 相邻曝光区域拼接误差 | ≤ 150 nm |
| 基片厚度 | 0 – 4.5 mm |
| 样品尺寸 | 5 x 5 mm to 48 x 48 mm （按需定制） |
| 最小移动步距 | ≤ 50 nm |
选型建议
建议结合样品材料、目标结构、加工精度、测试周期、预算范围和后续集成方式进行配置判断。旭量光学可根据旧资料参数和实际应用目标，协助整理系统路线和验证方案。
常见问题
UV无掩模数字打印系统适合哪些应用？
适合需要系统选型、样品验证、工艺开发或小批量验证的应用场景。
是否可以按样品需求定制？
可以根据材料、尺寸、精度、节拍和预算范围评估配置。
方案咨询
如果你正在评估相关系统、样品验证或工艺开发需求，可以把应用场景、材料类型、目标尺寸、精度要求和预算范围发给旭量光学，我们会协助判断适合的系统配置和验证路径。