FemtoLAB飞秒激光微纳加工系统
产品系列：超快激光加工 产品型号：FemtoLAB飞秒激光微纳加工系统 产品品牌：立陶宛wop 激光 FemtoLAB是飞秒激光微加工工作站，是科学实验室和研发中心的完美选择，根据需要为各种任务有侧重的定制解决方案。也是目前国内保有量最高的微纳加工系统，支持国内打样服务。 FemtoLAB可以执行各种增材和减材应用，例如飞秒激光烧蚀（FSLA），直写光波导，多光子聚合（MPP）、激光直写（DLW）实现纳米级分辨率。 1.Ksenia Maximova, Xuewen Wan…
产品资料整理
页面概述
产品型号：FemtoLAB飞秒激光微纳加工系统
FemtoLAB是飞秒激光微加工工作站，是科学实验室和研发中心的完美选择，根据需要为各种任务有侧重的定制解决方案。也是目前国内保有量最高的微纳加工系统，支持国内打样服务。
FemtoLAB可以执行各种增材和减材应用，例如飞秒激光烧蚀（FSLA），直写光波导，多光子聚合（MPP）、激光直写（DLW）实现纳米级分辨率。
1.Ksenia Maximova, Xuewen Wang, Armandas Balčytis, Linpeng Fan, Jingliang Li, and Saulius Juodkazis at al. “Silk patterns made by direct femtosecond laser writing”, Biomicrofluidics 10 (5), 054101 (2016). doi: http://dx.doi.org/10.1063/1.4962294
2. Xuewen Wang, Aleksandr Kuchmizhak, Etienne Brasselet, Saulius Juodkazis, et al. “Dielectric geometric phase optical elements from femtosecond direct laser writing”, arXiv:1612.04487 (2016). doi:https://arxiv.org/abs/1612.04487
3. W. Wang, A. A. Kuchmizhak, X. Li, S. Juodkazis, O. B. Vitrik, Yu.N. Kulchin, V. V. Zhakhovsky, P. A. Danilov, A. A. Ionin, S. I. Kudryashov, A.A. Rudenko, N. A. Inogamov at al. “Laser-induced Translative Hydrodynamic Mass Snapshots: mapping at nanoscale”, arXiv:1703.06758 (2017). doi:http://arXiv:1703.06758
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- 飞秒激光源
- 样品定位系统
- 光束传输和扫描单元
- 激光功率和偏振控制
- 系统控制软件（可根据要求提供自动对焦和机器视觉）
- 样品架和特殊机械装置（可根据要求实现样品处理自动化）
- 光学工作台
- 存储模块（全部或部分）
- 除尘装置
- 激光系统通过几经迭代和更新的SCA微加工软件实现自动化
应用场景
面向飞秒激光直写、微纳加工、光芯片原型验证、FBG 写入或科研样品工艺开发需求。
技术亮点
- 飞秒激光源
- 样品定位系统
- 光束传输和扫描单元
- 激光功率和偏振控制
- 系统控制软件（可根据要求提供自动对焦和机器视觉）
- 样品架和特殊机械装置（可根据要求实现样品处理自动化）
| 参数 | 值 |
| 推荐材料 | 所有材料：玻璃、蓝宝石、硅、陶瓷、金属、塑料、光纤等。 |
| 激光 | 高功率超短脉冲红外、绿光、紫外激光器 |
| 光路选择 | 自动化 |
| 样品尺寸 | 兼容最大 160 毫米 x 160 毫米的设计 |
| 最小特征尺寸 | 200纳米 |
| 定位系统 | XYZ 机械轴，定位精度 ± 0.3 μm，具有连续晶圆级图案化功能 |
| 扫描系统 | 适用于所有激光波长的振镜系统 |
选型建议
建议结合样品材料、目标结构、加工精度、测试周期、预算范围和后续集成方式进行配置判断。旭量光学可根据旧资料参数和实际应用目标，协助整理系统路线和验证方案。
常见问题
FemtoLAB飞秒激光微纳加工系统支持哪些应用？
支持飞秒激光烧蚀、直写光波导、多光子聚合、激光直写、激光切割和钻孔等增材和减材应用。
该系统是否提供国内打样服务？
是的，FemtoLAB是国内保有量最高的微纳加工系统，支持国内打样服务。
FemtoLAB的分辨率能达到多少？
可实现纳米级分辨率，例如通过多光子聚合和激光直写实现纳米级精度。
方案咨询
如果你正在评估相关系统、样品验证或工艺开发需求，可以把应用场景、材料类型、目标尺寸、精度要求和预算范围发给旭量光学，我们会协助判断适合的系统配置和验证路径。
方案咨询
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电话咨询：021-6130 3114
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