日本Elionix纳米压痕仪ENT-5，适应于0.5uN-2000mN广泛的材料硬度测量。

对薄膜、微区表面进行压痕检测，实现微区硬度，弹性模量等参数的采集，通过软件分析载荷和位移曲线来表征样品的硬度指标

采用独特的运动控制技术（广泛用于电子束绘图），实现高精度定位；应用数字变焦技术实现2000倍的任意位置测定

功能介绍：可选功能包括 粘弹性试验和粒子强度测试

ENT-5 规格参数：