红宝石飞秒激光钻孔是使用飞秒激光辐射的一种独特的加工技术，可实现孔周边无裂纹、精确锥度控制和光滑的壁面光洁度。

• 光滑钻孔内壁光洁度 （Ra ≤ 200 nm）
• 高达 1：6 的纵横比，用于零锥度孔
• 外围无熔化和微裂纹
• 精确控制孔深
• 各种孔形状（圆形、方形、其他形状）
• 高达 200 mm x 200 mm （8“） 晶圆尺寸
• 厚度达 1 mm 的蓝宝石,红宝石