晶圆自动缺陷检测系统 → 高倍率缺陷检查 → 一机无缝实现 3D 形状测量；基于共焦光学…
日本Elionix纳米压痕仪ENT-5，适应于0.5uN-2000mN广泛的材料硬度测量…
三维形貌测量仪NH系列，使用激光自动对焦技术在半导体工业和超精密加工领域得到广泛应用…
适用于高相位差样品的显微表征，针对钢化玻璃和光学薄膜剖面的残余应力评估…
PA系列双折射测量范围达0-130nm，可以测量的样品视野范围从几个毫米到近500毫米…
应力双折射仪采用偏振光电矢量合成及光学补偿原理，通过对样品的光程差的定量测定…
NMH-02 非接触式内表面表征测量仪，利用近红外光学干涉实现内周面可视化…
种短脉冲产生微弱发射；对于传统CCD而言，通过连续信号传输是非常困难的…
频域 OCT-将频域 OCT 应用在激光直写技术中，证明了频域 OCT 在技工过程中可以对 3D 样品实现…
具有每秒 5000 帧的前所未有的成像速度，并且易于集成到任何工业流程中。太赫兹成像扫描…
