HYBRID是基于光学共聚焦研发。共焦显微技术是由美国科学家M.Minsky在1957年提出。
关于光谱共聚焦:
光谱共聚焦原理就是用一个光源,产生白光光源,这个白光光源通过耦合器再通过一个色散物镜打出光。
我们传统的镜头是用来消色差的,把不同颜色的光聚焦在同一个位置上。而色散物镜反其道而行之,把不同颜色的光进行分类,比如说把蓝光,红光,绿光分别聚焦到一个固定的位置。
比如图中所示的绿光聚焦的位置,如果物体在滤光聚焦的位置,被检测出来,那么此时的绿光所聚焦的强度是最强的,通过光路回过来的光最终回到光谱仪,光谱仪就会判断目前绿光的光子强度最大,这样就会判断出相应的距离位置。
同样的道理如果被测物体,在蓝光聚焦位置或者红光聚焦位置同样会被测得出来,那么光谱共聚焦原理比光谱共焦原理更具有哪些优势呢?光谱共聚焦原理通过色散物镜就可以省去Z轴方向的扫描机构,这样就可以进行高速的动态精度检测。





