1. 全固态飞秒激光源，功率稳定性为 24 小时内为 ≤0.5% RMS。
2. 具有重复精度 ≤±100nm 的 XYZT 空气轴承平台，用于同步运动控制的 PSO 功能。
3. 支持位置-时间同步触发功能。
4. 具有实时焦点跟踪的机器视觉。
5. 自然形成的金属掺杂负压吸附样品架。
6. 支持空间曲线加工，包括螺旋线规划子模块。
7. 支持复杂矢量图形 （DXF） 和标准 2D 导入，以及 STL 3D 模型导入。
8. 采用电动光学元件的全电子控制。
9. 具有空气隔离和停电保护的工业保护。

基本配置：

飞秒激光器、定位系统、加工软件三大核心部件。

• 4F 系统、机器视觉、后续套件、重复性 ±100nm、偏振调整、用户友好的软件。

系统组件：

• 定制的涡旋/圆柱形偏振调制，（贝塞尔光束或 DOE 组件）。
• 空间光调制器（SLM，具有自定义相位图）。
• 带空中支持的 XYZ 定位系统 （Aerotech）。
• 支持多波长直写处理，标准配置（1030nm、515nm）

飞秒激光源：

• 固态飞秒激光器。
• 通过狭缝对光点进行 Z 方向整形
• 高能量、高重复率、广泛适应性的材料

• 可调脉冲持续时间：290 fs – 10 ps
• 最大脉冲能量高达0.2 mJ
• 按需脉冲和用于脉冲控制的
• BiBurst- CEP稳定或重复率锁定
• 热稳定和密封设计
• 2H，3H

• 独立设计的单窗口GUI可视化控制软件
• 支持至少四种基本形状的轨迹规划和数组生成：直线、圆形、椭圆和矩形
• 主界面允许直接调整移动距离和速度;集成机器视觉，用于实时处理监控
• 三轴联动空间曲线处理，包括螺旋路径规划子模块
• 支持矢量图形 （DXF） 和标准 2D、STL 3D 模型导入，具有编辑、填充和数组处理功能
• 自动对焦和动态焦点跟踪

• 具有实时动态控制的
• 可编程相位图• 可控参数：相位、幅度、脉冲宽度
• 能够：平行光束生成、光束整形、脉冲整形、偏振控制和角动量控制